実験装置紹介

以下の装置を駆使して、ナノカーボン材料の研究を進めています

・ナノカーボン製造・処理装置

	多温度ゾーンＣＶＤ装置 反応管上流と試料周辺の温度を独立に制御 カーボンナノチューブやグラフェンの成長に利用 原料ガス（アルコール、アセチレン、エチレン）やキャリアガスだけではなく、水や13Cアルコール・エチレンなどの精密な導入が可能
	超高温電気炉 アルコールを導入しながら１６００℃までの加熱が可能 酸化グラフェンの超高温処理やカーボンナノチューブ・グラフェンの成長に利用
	超高温光加熱炉 ランプ光を集光して、アルコールを導入しながら１８００℃までの加熱が可能 酸化グラフェンの超高温処理やカーボンナノチューブ・グラフェンの成長に利用
	自作ＣＶＤ装置 上段の装置は粉末原料を用いた窒化ホウ素の合成に利用 下段の装置はエタノールを原料としたカーボンナノチューブ等の合成に利用
	太陽炉 太陽光を集光して、アルコールを導入しながら２０００℃までの加熱が可能 （屋外での実験のため、加熱上限温度は天候に左右されます） 酸化グラフェンの反応性雰囲気・超高温処理に利用 この装置を用いた研究は若狭湾エネルギー研究センターとの共同で進めています

・ナノカーボン物性解析装置

	ラマン分光器 カーボンナノチューブやグラフェンの構造解析に利用 励起波長：532, 633, 785 nm ピエゾステージを装備しており、マッピング測定も可能です （時間はかかりますが）
	原子間力顕微鏡（ＡＦＭ） nmスケールでの試料表面形状の観察が可能 光学顕微鏡では見えないカーボンナノチューブやグラフェンナノリボンの観察に利用
	電気特性アナライザ＋マニュアルプローバー ナノチューブ・グラフェンデバイスの電気特性解析やバイオセンサーの研究に利用
	温度制御真空プローバー 液体窒素とヒーターにより温度制御して真空中での電気測定が可能
	紫外／可視分光光度計 紫外光・可視光領域の透過率測定や濃度解析に利用 積分球を装備しており、散乱がある薄膜や粉体などの測定も可能

・その他の装置類

	クリーンブース ほこりのない、クリーンルームに近い環境が得られます 汚れをきらう成長用の試料作製などに利用			電子線蒸着装置 ナノチューブ成長触媒となる鉄・コバルト・金などの金属薄膜やデバイス電極の蒸着をおこないます 0.1nm以下の膜厚まで制御可能です
	光学顕微鏡 酸化グラフェンなど試料の表面状態やデバイスのパターン確認など幅広い目的に利用			超純水製造装置 イオン性の不純物を取り除き、18Mohmの純水を製造 ナノカーボン成長用試料の洗浄などに利用
	遠心分離機 酸化グラフェン、ナノチューブ、ナノ粒子などの分散液の分離などに利用			スピンコーター ナノダイヤモンドや酸化グラフェンを基板表面に均一に塗布 ナノカーボン成長用試料の作製に使用
	オゾンクリーナー オゾンを発生させて基板のクリーニングに利用			プラズマエッチング装置 酸素プラズマによる基板のクリーニングやナノカーボンの部分的除去などに利用
	ひずみセンサー測定装置 ひずみを加えた状態での電気抵抗の変化を測定			凍結乾燥装置 凍結したサンプルを真空中で乾燥 酸化グラフェンによるスポンジ構造の形成などに利用
	ホモジナイザー 強い超音波によりナノ材料を溶液に分散			ドライ転写装置 原子層物質などを位置制御して転写・積層
	マッフル炉 大気中でのサンプルの加熱処理に利用			DLP露光装置 簡易的なフォトリソグラフィーに利用
	臨界点乾燥装置 超臨界の二酸化炭素によりナノ材料の架橋構造を保ったまま乾燥			クイックコーター 簡易的なスパッタにより短時間での金属成膜に利用

最終更新日 ２０２２年１月２２日
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